Soporte de vidrio
¿Qué son las obleas portadoras de vidrio?
Las obleas portadoras de vidrio son discos fabricados con precisión a partir de materiales de vidrio fino, como el borosilicato y el aluminoborosilicato. Estos materiales se eligen por sus excelentes propiedades de expansión térmica y transmitancia. Fabricadas con tecnología avanzada, las obleas cumplen estrictos estándares de calidad y se adaptan a los requisitos específicos de la industria.
Por qué el vidrio es ideal para semiconductores
En la fabricación de semiconductores, las obleas y los paneles portadores de vidrio desempeñan un papel fundamental. Las ventajas del vidrio en comparación con otros materiales incluyen una excelente estabilidad térmica, lo que les permite soportar altas temperaturas durante el procesamiento sin deformarse. La estabilidad de un portador de vidrio minimiza la tensión mecánica y mantiene la integridad de la oblea durante los pasos críticos de fabricación. Las diversas tasas de expansión térmica de los vidrios disponibles también permiten una adaptación óptima a varios materiales semiconductores, lo que simplifica el procesamiento. Además, la alta transmisión lumínica del vidrio ayuda a realizar inspecciones ópticas precisas, esenciales para el control de calidad. En conjunto, estas propiedades convierten al vidrio en un material indispensable para una producción de semiconductores eficiente y confiable.
Ventajas del vidrio en el espacio
Los portadores de vidrio son cada vez más importantes en el mundo en rápida evolución de los semiconductores. Esto se debe a las siguientes propiedades clave:
Vidrio bruto de alta calidad
La alta reproducibilidad de nuestros procesos de fusión garantiza una calidad alta y uniforme del vidrio bruto.
Amplio rango CTE
Esto permite colocar una amplia gama de materiales como obleas portadoras durante el procesamiento de semiconductores, con un CTE estrechamente ajustado para obtener resultados óptimos.
Resistencia mecánica
El rendimiento excelente de procesamiento de las obleas portadoras se traduce en una robustez extraordinaria en áreas como la resistencia a la rotura.
Resistencia química y a temperaturas altas
El vidrio es un material excelente para los portadores gracias a su alta resistencia a ácidos y otros productos químicos, así como a sus excelentes propiedades de choque térmico.
Transparencia
La transparencia de los soportes de vidrio permite un proceso de despegado láser y una inspección durante el proceso. También facilita la identificación de cualquier problema de adhesión que pueda ocurrir.
Tolerancias extremadamente bajas
Las obleas portadoras ofrecen un nivel de TTV ≤ 3 µm, lo que permite un adelgazamiento superior de las obleas de silicio y una deformación de ≤ 50 µm, lo que evita una mayor deformación durante el proceso de apilado de capas.
Figura y forma
El vidrio es ideal como sustrato portador, ya que ofrece menos limitaciones de tamaño. Producido como una oblea, tiene las mismas opciones de geometría de muesca y bisel que las obleas de silicio, con las ventajas añadidas del vidrio.
Rentabilidad y durabilidad
Gracias a sus propiedades superiores, las láminas y los paneles portadores de vidrio se pueden utilizar hasta 10 veces, lo que aumenta la sostenibilidad de estos componentes críticos y reduce los costos.
Listo para procesos back-end
Los soportes de vidrio permiten la manipulación de obleas/matriz de silicio en la producción de semiconductores.
Amplia selección de materiales para el soporte de vidrio que se adaptan a los requisitos de los clientes
Propiedades geométricas del soporte de vidrio SCHOTT
| Propiedades geométricas | Valor |
|---|---|
|
Variación ultrabaja de espesor total (TTV) |
< 2.0 µm (estándar) |
|
Tolerancias precisas de espesor |
± 5.0 μm (estándar) |
|
Warp (en función de los materiales y grosores) |
8'' < 30 µm |
|
Calidad cosmética (en función de los materiales y el grosor) |
Arañazos/excavaciones: |
Adhesión y pegado del soporte de cristal
Transmitancia espectral: grosor 1,1 mm para λ = 250 nm a 400 nm
Transmitancia espectral: grosor 1,1 mm para λ = 200 nm 500 nm
El soporte de vidrio SCHOTT se puede entregar de la siguiente manera:
- Plano/muesca: Conforme a la norma SEMI
- Marcado láser: Conforme a la norma SEMI, T7, código de barras QR/número único
- Limpieza: Limpieza ultrasónica/megasónica y sala limpia ISO 6
- Embalaje: Inspección y envasado según la norma ISO 6 en cajas de obleas (FOSB, RTU, etc.)
