FOTURAN® II
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Technische Daten für FOTURAN® II

Führende Marken aus Wissenschaft, Technik und Technologie wissen seit mehr als 30 Jahren, dass FOTURAN® eine äußerst vielseitige und zuverlässige photostrukturierbare Glaskeramik ist. SCHOTT hat mit FOTURAN® II ein Material entwickelt, das die gleiche Formel verbessert und einen noch höheren Standard für photosensitive Glaswafer bietet.

Homogen, vielseitig und präzise

Hohe optische Transmission, hervorragende Photosensitivität

In einem Prozess, der dem Schmelzverfahren bei der Herstellung von optischem Glas ähnelt, wird durch kontinuierliches Schmelzen eine herausragend hohe Gleichmäßigkeit für FOTURAN® II erreicht. Es zeigt ebenfalls über 90 % Transmission (in einem Substrat von 1 mm Dicke) zwischen 350 nm und 2.700 nm.

Dicke und Oberflächenqualität abgestimmt auf Ihre Anforderungen

FOTURAN® II zeichnet sich durch einen niedrigen TTV, geringe Rauhigkeit und einen geringen Fehlergrad sowie eine hohe Anpassungsfähigkeit in Größe und Form aus. Darüber hinaus sind verschiedene Dicken und kundenspezifische Spezifikationen für individuelle Kundenanforderungen verfügbar.

Einfache Strukturierung mit Standardausstattung

FOTURAN® II ermöglicht die unkomplizierte Herstellung von Waferstrukturen durch Halbleiter-Standardverfahren wie UV-Belichtung, Wärmebehandlung und Nassätzung, ohne dass ein Photoresist benötigt wird. Mit einem breiten Prozessfenster für jeden Schritt ist es ein zuverlässig kompatibles Material für die Verwendung mit Standard-Halbleiterausrüstung.

Hohe Präzision und Homogenität in der Strukturtoleranz

Einer von mehreren Vorteilen der auf FOTURAN® II Waferglas hergestellten Strukturen ist ihre hohe Homogenität der Photosensitivität. Dies ist auf die fortschrittlichen Verfahren zurückzuführen, die SCHOTT über viele Jahre hinweg verfeinert hat, ähnlich dem Lithographieprozess in der Halbleiterfertigung.
Verfügbare Produkte
Strukturierungsprozess und Merkmale

Verfügbare Produkte

SCHOTT FOTURAN® II ist erhältlich als:

  • Polierte Substrate und Wafer

 

Weitere Informationen finden Sie bei den entsprechenden Produkten auf der Übersichtsseite.


Strukturierungsprozess und Merkmale

Funktionsprinzip

FOTURAN® II ist eine photo-strukturierbare Glaskeramik und wird in drei Schritten strukturiert - die Keramisierung als vierter Schritt ist optional

Darstellungen der vier Schritte des FOTURAN® II Strukturierungsprozesses

1) Unterschiedliche Temperaturprofile während der Kristallisation führen zu unterschiedlichen Kristallstrukturen

 

Standard-Fotostrukturierungsprozess

FOTURAN® II Strukturierung besteht aus UV-Belichtung, Wärmebehandlung und Ätzung - anschließende Keramisierung ist optional

Schematische Darstellung der vier Stufen der FOTURAN® II Strukturierung

1) Für 0,5 mm dicke Substrate - Parameter für andere Dicken können abweichen

2) Die optimale theoretische Expositionswellenlänge beträgt 312 nm

 

Transmissionskurve von unbearbeitetem FOTURAN® II

Die höchste UV-Empfindlichkeit von unbearbeitetem FOTURAN® II liegt zwischen 290 & 330 nm – erkennbar an der Änderung der Transmissionskurve

Grafische Darstellung der Transmissionskurve von SCHOTT FOTURAN® II Glas

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