Technische Daten für SCHOTT® Cavity Cap
SCHOTT® Cavity Cap überzeugt durch eine hochwertige Mikrostrukturierung, modernste Klebetechnologie und eine fein abgestimmte Dicing-Technologie. Als Schlüsselkomponente für miniaturisierte Systeme ermöglicht das Anpassungspotenzial jede Form und bietet eine äußerst vielseitige Verpackungslösung.
Technische Daten für SCHOTT
| Material | D 263® Familie | MEMpax® | AF 32® eco | BOROFLOAT® 33 |
|---|---|---|---|---|
| CTE (ppm/K) | 7,2 | 3,3 | 3,2 | 3,3 |
| Technische Daten – Fenster |
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|---|---|
| Lichttransmission τvD65 bei 0,3 mm | ~ 91,7 % |
| Dicke (h1) | 0,1 – 1,1 mm |
| AR-Beschichtung (einseitig/beidseitig) | auf Anfrage |
| Technische Daten des Spacers |
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|---|---|
| Höhe des Spacers (h2) |
0,2–3,3 mm |
| Öffnungsgröße (a, b) | variabel; mind. 0,3 mm |
| Öffnungstoleranzen | < 20 μm (entspricht ± 10 μm) |
| Dammbreite (d1, d2) | bis zu 0,5 mm |
| Technische Daten – Kappe | |
|---|---|
| Kappengröße (L, B) | variabel; min. 3 x 3 mm |
| Toleranz der Kappengröße | ± 100 μm |
| Kappenhöhe (h1+h2) | mind. 0,3 mm |
| Chipping (Innenkante) | < 10 μm: |
| Chipping (geschnittene Außenkante) | < 100 μm |
Bonding
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Hermetisches Laser-Bonden auf Wafer-Ebene: hohe Hermetizität.
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Minimale Wärmebelastung: Wärmeeinflusszone von wenigen Mikrometern.
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Frei von Zusatzstoffen: Keine Klebstoffe oder zusätzliche Materialien erforderlich.
Materialien des SCHOTT® Cavity Cap
SCHOTT® Cavity Cap ist erhältlich als:
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D 263® T eco
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AF 32® eco
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MEMpax®
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BOROFLOAT®
Weitere Informationen zu den entsprechenden Materialien finden Sie auf der Übersichtsseite
