Capot pour cavité SCHOTT®
Caractéristiques techniques pour SCHOTT
Matériau | Gamme D 263® | MEMpax® | AF 32® eco | BOROFLOAT® 33 |
---|---|---|---|---|
CTE (ppm/K) | 7,2 | 3,3 | 3,2 | 3,3 |
Données techniques – Fenêtre |
|
---|---|
Transmission lumineuse τvD65 à 0,3 mm | ~ 91,7 % |
Épaisseur (h1) | 0,1 – 1,1 mm |
Revêtement AR (simple face/double face) | sur demande |
Caractéristiques techniques – Espaceur |
|
---|---|
Hauteur de l’espaceur (h2) |
0,2 – 3,3 mm |
Ouverture (a, b) | variable ; min. 0,3 mm |
Tolérances d’ouverture | < 20 μm (équiv. ± 10 μm) |
Largeur de barrage (d1, d2) | jusqu’à 0,5 mm |
Caractéristiques techniques – Capots | |
---|---|
Taille du capot (L, l) | variable ; min. 3 x 3 mm |
Tolérance de la taille du capuchon | ± 100 μm |
Hauteur du capot (h1+h2) | min. 0,3 mm |
Écaillage (bord intérieur) | < 10 μm |
Écaillage (bord extérieur coupé) | < 100 μm |
Collage
-
Collage laser hermétique sur wafer : haut niveau d’herméticité.
-
Charge thermique minimale : zone affectée par la chaleur extrêmement petite, de quelques micromètres seulement.
-
Sans additifs : pas besoin de colles ni de matériaux supplémentaires.
Matériaux des capots pour cavité de SCHOTT®
Le capot pour cavité de SCHOTT® est disponible en :
-
D 263® T eco
-
AF 32® eco
-
MEMpax®
-
BOROFLOAT®
Pour en savoir plus, veuillez consulter les documents associés en page de présentation.