FOTURAN® II
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FOTURAN® II

Les grands noms des univers de la science, de l’ingénierie et de la technologie savent combien le verre FOTURAN® est une vitrocéramique photostructurable hautement polyvalente et fiable depuis plus de 30 ans. SCHOTT a développé le FOTURAN® II, un matériau de formule perfectionnée afin d'offrir un standard encore plus élevé pour les wafers en verre photosensibles.

Homogène, polyvalent et précis

Transmission optique élevée, excellente photosensibilité

Selon un procédé similaire à la méthode de coulée utilisée pour la production de verre optique, la coulée continue confère au FOTURAN® II une uniformité remarquablement élevée. Il affiche également une transmission supérieure à 90 % (pour un substrat d'épaisseur 1 mm) entre 350 nm et 2 700 nm.

Épaisseur et qualité de surface personnalisées à vos besoins

En plus d'une TTV et d'une rugosité faibles ainsi que d'un taux minime de défauts, le FOTURAN® II présente une taille et une forme hautement personnalisables. Un éventail d’épaisseurs et de spécifications sont également adaptables aux besoins spécifiques des clients.

Une structuration simple avec un équipement standard

Le FOTURAN® II facilite la production directe de wafers structurés par le biais de procédures semiconducteurs standard, telles que l’exposition aux UV, le traitement thermique et le décapage chimique humide, sans besoin de photorésines. Avec une large fenêtre de procédés pour chaque étape, il s'agit d'un matériau compatible et fiable à utiliser avec les équipements de semiconducteurs standard

Hautes précision et homogénéité dans la tolérance de structure

L'un des nombreux avantages des structures réalisées sur les wafers en verre FOTURAN® II est la grande homogénéité de leur photosensibilité. Elle est le fruit de procédures avancées que SCHOTT a perfectionnées au fil des ans, à l’instar du procédé de lithographie utilisé dans le processus de fabrication des semiconducteurs.
Produits disponibles
Processus de structuration et caractéristiques

Produits disponibles

SCHOTT FOTURAN® II est disponible sous forme de

  • Wafers et substrats polis

 

Pour en savoir plus, veuillez consulter les produits concernés sur la page de présentation.


Processus de structuration et caractéristiques

Principe de fonctionnement

Le FOTURAN ® II est une vitrocéramique photostructurable et structurée en trois étapes – La 4e étape de céramisation est facultative

Illustrations des quatre étapes du procédé de structuration du FOTURAN® II

1) Pendant la cristallisation, différents profils de température génèrent différentes structures cristallines

 

Procédé de photostructuration standard

La structuration du FOTURAN® II consiste en une exposition aux UV, un traitement thermique et une attaque chimique - la céramisation ultérieure est facultative

Les quatre étapes de la structuration du FOTURAN® II

1) Pour substrats d’épaisseur 0,5 mm - Le paramètre pour d’autres épaisseurs peut différer

2) La longueur d’onde d’exposition théorique optimale est de 312 nm

 

Courbe de transmission du FOTURAN® II non traité

La sensibilité aux UV maximale du FOTURAN® II brut se situe entre 290 et 330 nm - Visible dans le changement de pente de transmission

Graphique de la courbe de transmission du verre SCHOTT FOTURAN® II

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