FOTURAN® II
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FOTURAN® II

Há mais de 30 anos, as principais marcas no campo da ciência, engenharia e tecnologia reconhecem que o FOTURAN® é uma vitrocerâmica fotoestruturável versátil e segura. Mas a SCHOTT desenvolveu o FOTURAN® II, uma evolução que aprimorou a conhecida fórmula com o objetivo de oferecer um padrão ainda mais elevado para wafers de vidro fotossensível.

Homogêneo, versátil e preciso

Alta transmissão óptica, excelente fotossensibilidade

Adotando um processo semelhante ao método de fusão usado na produção do vidro óptico, a fusão contínua resulta em uma uniformidade extremamente alta do FOTURAN® II. Além disso, ele apresenta níveis de transmissão superiores a 90% (substrato de 1 mm de espessura), entre 350 e 2.700 nm.

Espessura e qualidade de superfície personalizadas de acordo com suas necessidades

O FOTURAN® II apresenta baixo TTV, nível baixo de irregularidades e presença reduzida de imperfeições, além de tamanho e formato adaptáveis. Além disso, ele oferece uma variedade de espessuras e especificações personalizadas de acordo com as exigências específicas do cliente.

Estruturação simples com equipamento convencional

O FOTURAN® II facilita a produção direta de estruturas de wafer por meio de procedimentos convencionais de semicondutores, como exposição à radiação ultravioleta, tratamento térmico e gravação molhada, sem uso de fotorresistência. Com um período extenso de processo em cada etapa, é um material compatível e seguro para uso com equipamentos padrão de semicondutores.

Elevada precisão e homogeneidade na tolerância da estrutura

Entre as várias vantagens das estruturas feitas no vidro de wafer FOTURAN® II destaca-se a elevada homogeneidade de fotossensibilidade. Os inovadores procedimentos aperfeiçoados pela SCHOTT ao longo dos anos são semelhantes ao processo de litografia utilizado na fabricação de semicondutores.
Produtos disponíveis
Processo de estruturação e características

Produtos disponíveis

Linha de produtos do FOTURAN® II da SCHOTT:

  • Wafers e substratos sem polimento

 

Para saber mais, consulte os produtos relacionados na página de apresentação.


Processo de estruturação e características

Princípio de funcionamento

O FOTURAN® II é uma vitrocerâmica fotoestruturável composta em três etapas: a quarta etapa, a ceramização, é opcional

Ilustrações das quatro etapas do processo de estruturação do FOTURAN® II

1) Diferentes perfis de temperatura durante a cristalização geram diferentes estruturas cristalinas

 

Processo de fotoestruturação convencional

A estruturação do FOTURAN® II inclui exposição à radiação ultravioleta, tratamento térmico e gravação: a ceramização posterior é opcional

O diagrama apresenta as quatro etapas da estruturação do FOTURAN® II

1) Substratos de 0,5 mm de espessura: o parâmetro das demais espessuras pode variar

2) O comprimento de onda da exposição teórica ideal é de 312 nm

 

Curva de transmissão do FOTURAN® II sem processamento

Sensibilidade máxima a UV do FOTURAN® II bruto entre 290 e 330 nm – Visível na mudança da inclinação da transmissão

O gráfico apresenta a curva de transmissão do vidro FOTURAN® II da SCHOTT

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