Tampa de cavidade SCHOTT®
Detalhes técnicos da SCHOTT
Material | Família D 263® | MEMpax® | AF 32® eco | BOROFLOAT® 33 |
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CTE (ppm/K) | 7,2 | 3,3 | 3,2 | 3,3 |
Dados técnicos – Janela |
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Transmitância luminosa τvD65 a 0,3 mm | ~ 91,7% |
Espessura (h1) | 0,1 – 1,1 mm |
Revestimento AR (lado único/duplo) | mediante solicitação |
Dados técnicos – Espaçador |
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Altura do espaçador (h2) |
0,2 – 3,3 mm |
Tamanho da abertura (a, b) | variável; mín. 0,3 mm |
Tolerâncias de abertura | < 20 μm (equiv. ± 10 μm) |
Largura da barragem (d1, d2) | até 0,5 mm |
Dados técnicos – Tampa | |
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Tamanho da tampa (C, L) | variável; mín. 3 x 3 mm |
Tolerância de tamanho da tampa | ± 100 μm |
Altura da tampa (h1+h2) | mín. 0,3 mm |
Lascamento (borda interna) | < 10 μm |
Lascamento (borda externa em cubo) | < 100 μm |
União
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União hermética a laser em nível de wafer: alto nível de hermética.
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Carga térmica mínima: zona afetada pelo calor de apenas alguns micrômetros.
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Sem aditivos: sem necessidade de adesivos ou materiais adicionais.
Materiais da tampa de cavidade SCHOTT®
A tampa de cavidade SCHOTT® está disponível como:
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D 263® T eco
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AF 32® eco
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MEMpax®
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BOROFLOAT®
Para saber mais, consulte os materiais relacionados na página de apresentação.