无碱,低热膨胀系数
AF 32® eco 的使用环境友好特性之一是其组成成分无碱,使其非常适合于半导体系统。 并且具有与硅片相似的热膨胀系数,可用作半导体和 MEMS 器件中硅晶圆的高质量的薄晶圆玻璃盖板或基板。
厚度范围广,几何公差小
从极薄的 30 µm 到0.5 mm,AF 32® eco 有多种厚度可供选择。 无论您需要什么厚度,可始终严格控制总厚度变化(TTV)系数,≤ 5 µm 至 15 µm。
出色的透射率
AF 32® eco 玻璃可在可见光范围和近红外的更高波长范围始终保持高透射率。 具有 91.9% 出色透射率,并且经过 AR 涂层后,透射率可达 97-99%。
优异的介电性能
AF 32® eco 具有低介电损耗,适于在非常高的频率下应用。 热膨胀系数 (CTE) 与硅一致,可与硅片进行协同加工处理。 这样可以低介入损耗在千兆赫范围内应用 SAW 和 BAW 滤波器。