SCHOTT® 腔盖
SCHOTT® 腔盖具有高端微型结构化、最新粘合技术和微调切片，其技术标准令人印象深刻。作为小型化系统的关键组件，其定制潜力使任何形状均成为可能，呈现高度通用的包装解决方案。
肖特的技术细节
| 材料 | SCHOTT D 263™ 系列 | MEMpax® | AF 32® eco | BOROFLOAT® 33 |
|---|---|---|---|---|
| CTE (ppm/K) | 7.2 | 3.3 | 3.2 | 3.3 |
| 技术参数 — 窗口 |
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|---|---|
| 0.3 mm 条件下的发光透射率为 τvD65 | ~ 91.7 % |
| 厚度 (h1) | 0.1 – 1.1 mm |
| AR 涂层（单面 / 双面） | 按要求提供 |
| 技术参数 — 隔离片 |
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|---|---|
| 隔离片高度 (h2) |
0.2 – 3.3 mm |
| 开口尺寸 (a, b) | 可变；最小 0.3 mm |
| 开口公差 | < 20微米（相当于±10微米） |
| Dam 宽度 (d1, d2) | 最低 0.5 mm |
| 技术参数 — 管帽 | |
|---|---|
| 管帽尺寸 (L, W) | 可变；最小 3 x 3 mm |
| 管帽尺寸公差 | ± 100 μm |
| 管帽高度 (h1+h2) | 最小 0.3 mm |
| 切屑（内边缘） | < 10 μm |
| 切屑（切片状外边缘） | < 100 μm |
连接
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晶圆级密封激光粘合 高度的气密性。
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最低热负荷：受热区域只有几微米。
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无添加剂：无需任何粘接剂或额外材料。
SCHOTT® 腔盖材料
SCHOTT® 腔盖可提供：
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SCHOTT D 263™ T eco
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AF 32® eco
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MEMpax®
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BOROFLOAT®
如要了解更多信息，请参见概览页面的相关材料。
