Anwendungen von MEMpax®
Drucksensoren
MEMpax® ist ideal für den Einsatz in Drucksensoren. MEMpax® ist als unpolierter und strukturierter Wafer erhältlich und fungiert als Sockel, der den funktionalen MEMS-Die trägt. Diese finden breite Anwendung in den Bereichen Automotive, Industrie und Transport sowie im Gesundheitswesen, wo SCHOTT eine langjährige und vertrauensvolle Präsenz aufgebaut hat.
MEMS-Spiegel
MEMpax® wird aufgrund seiner einzigartigen thermischen, optischen, kosmetischen und geometrischen Eigenschaften häufig als Fenster in verschiedenen MEMS-Spiegelanwendungen eingesetzt. Eine thermische Übereinstimmung mit Silizium eröffnet die Möglichkeit des anodischen Bondens, um hermetische Gehäuse zu ermöglichen, während die Verfügbarkeit von geringen Dicken kleinere Formfaktoren und verbesserte optische Anwendungsdesigns bietet. Darüber hinaus kann die makellose Oberfläche mit effektiven Antireflexbeschichtungen kombiniert werden.
RF-IC-Gehäuse
Da SCHOTT MEMpax® die niedrigste Dielektrizitätskonstante aller dünnen Gläser auf dem Markt hat, ist es ideal für Anwendungen mit sehr hohen Frequenzen (über 30 GHz). Aufgrund seiner geringen Rauheit und des niedrigen TTV ist MEMpax® perfekt für integrierte Hochfrequenzschaltungen geeignet.
Diagnostik und Biotechnologie
Eine optimale Sensitivität ist in den Bereichen Diagnostik und Biotechnologie entscheidend. Die hohe optische Transmission und die geringe Autofluoreszenz von SCHOTT MEMpax® bieten ideale Voraussetzungen für den Einsatz in einer Vielzahl von Geräten und Anlagen. Ob Biochip-Substrate, Mikrofluidik oder Lab-on-a-Chip-Systeme: MEMpax® bietet ein niedriges Signal-Rausch-Verhältnis und eine ausgezeichnete Oberflächenqualität.
