MEMpax®
Schlanke Ausführung und ansprechende Oberfläche
SCHOTT MEMpax® erweitert das weltweit bekannte Portfolio an BOROFLOAT® Borosilicatglas um die extrem geringen Dickenabmessungen von 0,07 bis 0,55 mm. Ein weiterer Vorteil ist die makellose feuerpolierte Oberfläche, die Schleifen und Polieren überflüssig macht, und das Produkt kann überall dort eingesetzt werden, wo extrem dünne Borosilicatgläser benötigt werden, wie z. B. in MEMS- und Biotechnologie-Anwendungen
Außergewöhnlich vielseitig
Die Kombination aus einzigartigen Dicken und herausragenden Eigenschaften erweitert das Potenzial von MEMpax®. Sein Wärmeausdehnungskoeffizient (CTE) entspricht dem eines Siliziumwafers, wodurch sich das Material bestens für Wafer-Anwendungen in anodischen und anderen Bondprozessen eignet. Weitere positive Eigenschaften sind eine geringe Autofluoreszenz, eine hohe UV-Durchlässigkeit und die elektrisch Nichtleitfähigkeit.
Einzigartiges Portfolio an Eigenschaften
MEMpax® ermöglicht die Kombination verschiedener Formen und Größen in konkurrenzlos geringen Dicken. Gleichzeitig ist dieses hochreine Glas dank seiner sehr hohen chemischen Beständigkeit extrem belastbar in der Bearbeitung. Durch seinen CTE ist das Material hochkompatibel mit Silizium in Bondprozessen; und seine hohe (UV-)Transmission ermöglicht ein schnelles Debonding, und es behält die elektrische Nichtleitfähigkeit auch bei hohen Temperaturen bei.
