FLEXINITY®

FLEXINITY® 具有微米级别的结构,表面可进行完美键合,可达到多种出色的技术标准。作为微型化高性能系统的关键组件,该产品可定制为任何形状,提供实现新技术的各种可能性。

强力、准确且高度可定制

超细结构

FLEXINTY® 的厚度范围很广,从0.1毫米到3.3毫米。其结构宽度最小可达25微米半径,而横向尺寸最大可达600毫米,取决于特有的应用要求,位置公差最小可达3微米。

出色的可靠性

FLEXINTY® 凭借其特有的壁体条件,具有极高的机械强度和经过调整的热膨胀,可确保极高的可靠性和产量。

卓越的表面质量

FLEXINITY® 结构化晶圆形成的坚固玻璃-硅键合叠层由高质量表面支撑。无论在何种应用中使用哪种类型的玻璃,出色的火抛光处理表面使其十分坚固。

凡能所想,皆可定制

肖特提供一系列玻璃类型的 FLEXINITY®。SCHOTT D 263™ 可制造为结构化的玻璃板、面板或晶圆,具有很高的可见光到近红外范围内透射率以及很高的热膨胀系数,AF 32® eco 的热稳定性高,介质损耗因数低。

肖特 FLEXINITY® - 结构化玻璃解决方案

标准结构化能力*  
厚度范围(取决于玻璃类型) 0.1 – 3.3毫米
规格 最大直径600毫米(圆形、方形)
布局  通孔结构符合客户规范
结构化半径 最小25微米
最小的结构元件尺寸 100微米
特性尺寸公差 < 20微米(相当于±10微米)
壁锥角 90°±0.5°
棱边禁止区 ≥ 3毫米
特性位置公差 < 20微米(相当于±10微米)
 结构元件之间的跨接宽度 最小100微米

*) 如有特性设计方面的限制以及与上述特性不同的要求,将按要求进行评估

肖特 FLEXINITY® connect - 结构化玻璃解决方案

结构  
厚度范围(取决于玻璃类型) ~ 0.2 - 1.1毫米
结构化半径
最小50微米
规格 最大直径600毫米(圆形、方形)
位置公差 最小±3微米* 
孔数 每秒最多1000个孔*
布局  
结构化形式 圆形
位置 柔性
孔径形态 直形
类型 通孔 
材料范围**  
SCHOTT D 263™ T eco、BOROFLOAT® 33、肖特® AF 35 G  

*) 取决于设计
**) 正在评估其他材料

肖特 FLEXINITY® mini——结构化玻璃解决方案

标准结构化能力*  
厚度范围(取决于玻璃类型) 0.1 – 3.3毫米
规格(框架) 最大直径600毫米
被分离部件的尺寸 最小1毫米
布局(被分离部件的外部轮廓) 圆形、矩形、自由形状
布局(孔) 通孔结构符合客户规范
外部轮廓和孔半径 最小25微米
最小的结构元件尺寸 100微米
特性尺寸公差 < 20 μm(相当于±10μm)
特性位置公差 < 20 μm(相当于±10μm)
框架尺寸 ≥ 10毫米 
*) 如有特性设计方面的限制以及与上述特性不同的要求,将按要求进行评估

肖特 FLEXINITY® level – 结构化玻璃解决方案

标准结构化能力*  
玻璃类型 SCHOTT D 263™ T Eco,BOROFLOAT® 33
厚度范围(取决于玻璃类型) 0.6 – 3.3毫米
规格 最大直径600毫米(圆形、方形)
布局 非通孔结构符合客户规范;
可与通孔结构相结合*
结构化半径 最小25微米
最小的结构元件尺寸 100微米
特性尺寸公差 < 20微米(相当于±10微米)
壁锥角 90°±0.5°
棱边禁止区 ≥ 3毫米 
特性位置公差 < 20微米(相当于±10微米)
结构元件之间的跨接宽度 最小100微米
*) 如有特性设计方面的限制以及与上述特性不同的要求,将按要求进行评估

 

规格 Specifications FLEXINITY® level  
水平深度范围,d1 最小 0.2 毫米*
剩余底部厚度,d0 最小 0.4 毫米*
布局 孔洞 圆形、矩形、自由形状
特征尺寸公差(横向) < 20微米(相当于±10微米) 
特性位置公差 < 20微米(相当于±10微米)
平面深度公差 < 100微米(相当于±50微米)
平面深度表面纹理 哑光

 

SCHOTT-FLEXINITY® level-Picture-Schematic sketch - 玻璃侧视图

FLEXINITY® 材料

SCHOTT FLEXINITY® 供应形式:

  • SCHOTT D 263™ T eco
  • SCHOTT D 263™ bio
  • AF 32® eco
  • MEMpax®
  • BOROFLOAT®

如要了解更多信息,请参见概览页面的相关材料。

想了解更多吗?请联系我们

如您需要更多信息、样品、报价或者关于新项目的建议,请随时联系我们。

请联系我们
Man in glasses in business office on phone while working on laptop_605x350.jpg