Two scientists working in a laboratory looking at mirror discs

MEMS

マイクロ電気機械システム（ MEMS ）は、さまざまな産業において重要性を増し続けています。 繊細な顕微鏡部品には電力、I/O相互接続、信頼性の高い保護が必要なため、ショットは非常に堅牢で精密な小型のパッケージング部品と材料を幅広く提供しています。

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MEMS実装

MEMS部品が小型化され強力化されるにつれ、同様に微小な実装ソリューションの必要性が高まっています。 ショットは、ショットPrimocelerによって提供される高精度TO PLUS®およびガラスマイクロボンディングなど、さまざまなガラス材料、気密実装部品、技術を提供しています。 これらの信頼性の高い実装オプションは長期的な気密性を維持し、熱損傷や機械的露出からMEMSを保護します。

製品
反射鏡を持つ科学者

MEMSミラー

MEMS技術を搭載した電磁駆動ミラーは、通信およびインテリジェント安全性産業で広く使用されています。 これらのミラーは非常にデリケートで、水分や埃の粒子から保護する必要がありますが、高性能の光学式インターフェイスが必要です。 MEMpax®、D 263®、TEMPAX Float®などの超薄板ガラスはミラー基板に最適です。また、当社のハーメチックトランジスタのアウトラインとマイクロエレクトロニクスパッケージにより、MEMSミラーは厳しい環境下でも最適な性能を発揮します。

製品
Microscopic pressure sensor for MEMS package

圧力センサ

ショットは、MEMSセンサーを環境から保護するための他に類を見ない製品ポートフォリオと、センサー自体のための幅広い機能コンポーネントを有しています。 MEMPax® 及びTEMPAX Float® は、理想的には陽極接合に適した平坦で非常に均質なホウケイ酸ガラスであり、FLEXINITY®は、構造化ウェハ及びガラス基材の革新的なポートフォリオである。 さらに、HermeS ®ウェハ―は産業用センサ向けの堅牢で耐久性の高いチップサイズのパッケージングを提供します。

製品