FLEXINITY®
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FLEXINITY®

FLEXINITY®는 마이크로스케일 구조와 완벽한 접합을 지원하는 표면 덕분에 다양한 범위의 기술 표준을 제공합니다. 소형화된 고성능 시스템의 핵심 구성 요소인 이 시스템의 맞춤 제작에 대한 잠재력은 모든 형태를 가능하게 하여 신기술을 위한 다양한 기회를 제공합니다.

강력하고 정확하며 맞춤성이 뛰어남

초박형 구조

FLEXINTY®는 0.1mm ~ 3.3mm의 다양한 두께로 제공됩니다. 구조물의 폭은 25 μm 반경까지 낮출 수 있지만, 측면 크기는 최대 600mm까지 구조화할 수 있으며 특정 애플리케이션의 요건에 따라 위치 공차는 ± 3 μm 미만입니다.

뛰어난 신뢰성

FLEXINTY®는 특정 벽 조건을 통해 높은 신뢰성과 수율을 위해 조정된 열 팽창과 함께 매우 높은 기계적 강도를 제공합니다.

고품질 표면

FLEXINITY® 구조화 가공 웨이퍼의 단단한 유리-실리콘 결합 스택은 고품질 표면을 필요로 합니다. 뛰어난 열 연마 마감 처리로 어떤 종류의 유리를 사용하든지 간에 높은 내구성을 제공합니다.

원하는 대로 제작하세요

SCHOTT는 다양한 유리 유형의 FLEXINITY®를 제공합니다. D 263®은 구조화 가공 시트, 패널 또는 웨이퍼로 제공될 수 있으며, 높은 CTE와 결합된 VIS ~ NIR 범위에서 높은 투과율을 제공하는 반면 AF 32® eco는 높은 열 안정성과 낮은 유전체 손실 계수를 제공합니다.
FLEXINITY® 구조적 특성
FLEXINITY® connect 구조적 특성
FLEXINITY® mini 구조적 특성
FLEXINITY® level 구조적 특성
FLEXINITY® 소재

SCHOTT FLEXINITY® - 구조화 가공 유리 솔루션

표준 구조화 기능*  
두께 범위(유리 유형에 따라 다름) 0.1 – 3.3mm
형태 최대 600mm 직경(원형, 사각형)
레이아웃  고객 사양에 따른 관통 구조
구조화 반경 25μm까지
구조 요소의 최소 치수 100μm
피처 크기 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
벽 테이퍼 각도 90° ± 0.5°
엣지 제외 영역 ≥ 3mm
피처 위치 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
 구조 요소 간의 브리지 폭 100μm까지

*) 피처 설계의 한계 및 이러한 기능에서 벗어나는 요구 사항은 요청에 따라 평가됩니다.

SCHOTT FLEXINITY® connect - 구조화 가공 유리 솔루션

구조  
두께 범위(유리 유형에 따라 다름) ~ 0.2 - 1.1mm
구조화 반경
 50μm까지
형태 최대 600mm 직경(원형, 사각형)
위치 공차 ± 3μm까지* 
구멍의 양 초당 최대 1000 구멍*
레이아웃  
구조화 형식 원형
위치 연질
구멍 형태 직선형
유형 관통 구멍 
소재 범위**  
D 263® T eco, BOROFLOAT® 33, SCHOTT® AF 35 G  

*) 설계에 따름
**) 기타 평가 중인 소재

SCHOTT FLEXINITY® mini - 구조화 가공 유리 솔루션

표준 구조화 기능*  
두께 범위(유리 유형에 따라 다름) 0.1 – 3.3mm
형태(프레임) 최대 600mm 직경
분리된 부품의 크기 1mm 까지
레이아웃(분리된 부품의 외부 윤곽) 원형, 직사각형, 자유로운 형태
레이아웃(구멍) 고객 사양에 따른 관통 구조
외곽 윤곽 및 구멍 반경 25 μm까지
구조 요소의 최소 치수 100μm
피처 크기 공차 < 20 μm(± 10μm 상당)
피처 위치 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
프레임 크기 ≥ 10mm 
*) 피처 설계의 한계 및 이러한 기능에서 벗어나는 요구 사항은 요청에 따라 평가됩니다.

SCHOTT FLEXINITY® level – 구조화 가공 유리 솔루션

표준 구조화 기능*  
유리 유형 D263® T Eco, BOROFLOAT® 33
두께 범위(유리 유형에 따라 다름) 0.6 ~ 3.3mm
형태 최대 600mm 직경(원형, 사각형)
레이아웃 고객 사양에 따른 비관통 구조;
관통 구조와 결합 가능*
구조화 반경 25μm까지
구조 요소의 최소 치수 100μm
피처 크기 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
벽 테이퍼 각도 90° ± 0.5°
엣지 제외 영역 ≥ 3mm 
피처 위치 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
구조 요소 간의 브리지 폭 100μm까지
*) 피처 설계의 한계 및 이러한 기능에서 벗어나는 요구 사항은 다음과 같이 평가됩니다.

 

사양 FLEXINITY® level  
레벨 깊이 범위, d1 최소 0.2mm*
잔여 베이스 두께, d0 최소 0.4mm*
레이아웃 캐비티 원형, 직사각형, 자유로운 형태
피처 크기 공차(측면) < 20μm(± 10μm 상당) 
피처 위치 공차 < 20μm(± 10μm 상당)
레벨 깊이 공차 < 100μm(± 50μm 상당)
레벨 깊이 표면 텍스처 무광택

 

SCHOTT-FLEXINITY® level-사진-도식 스케치 - 유리의 측면도

FLEXINITY® 소재

SCHOTT FLEXINITY® 제공 범위:

  • D 263® T eco
  • D 263® bio
  • AF 32® eco
  • MEMpax®
  • BOROFLOAT®

자세한 내용은 개요 페이지의 관련 자료를 참조하십시오.

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