FOTURAN® II
사용 가능한 제품
SCHOTT FOTURAN® II 제품:
- 연마 처리된 기판과 웨이퍼
자세한 정보는 개요 페이지에서 관련 제품을 참조하십시오.
구조화 공정 및 특성
작동 원리
FOTURAN® II는 광구조화된 글라스세라믹으로 세 단계로 구조화됩니다. 네 번째 단계인 세라믹화는 선택사항입니다
1) 결정화 중 다른 온도 프로필로 다른 결정 구조를 일으킵니다
표준 광구조화 공정
FOTURAN® II 구조화는 UV 노출, 열처리 및 에칭으로 구성되어 있습니다. 이후의 세라믹화는 선택 사항입니다.
1) 0.5mm 두께의 기판의 경우. 다른 두께의 매개변수는 다를 수 있습니다
2) 최적의 이론적 노출 파장은 312nm입니다
미공정 FOTURAN® II의 투과율 곡선
미가공 FOTURAN® II의 최고 자외선 감도는 290&330nm 사이이며 투과율 기울기의 변화로 확인 가능합니다