SCHOTT® 캐비티 캡

SCHOTT® 캐비티 캡은 첨단 마이크로스케일 구조화, 최신 접합 기술 및 미세 조정 다이싱으로 인상적인 기술 표준을 제공합니다. 소형화된 시스템의 핵심 구성 요소인 이 시스템의 맞춤 제작의 잠재력은 모든 형태를 가능하게 해주며, 다용도의 패키징 솔루션을 제공합니다.

원하는 대로 제작하세요

SCHOTT® 캐비티 캡은 다양한 유리 유형과 서브마운트 소재에 따라 다양한 CTE로 제공됩니다. 다이싱한 캡뿐만 아니라 빛 반사 손실을 줄이기 위해 상단 창 코팅 옵션과 함께 캡 웨이퍼도 제공할 수 있습니다.

높은 광 투과율

SCHOTT의 유명한 얇은 유리 사용으로 SCHOTT® 캐비티 캡의 상단 창은 자외선에서 근적외선 범위까지의 파장에 대해 최대 91.7%의 광투과율을 제공합니다.

정확한 형상

SCHOTT® 캐비티 캡은 일반적으로 1~2mm의 다양한 전체 높이에서 사용할 수 있지만 구성품 조합에 따라 절반으로 줄이거나 두 배로 늘릴 수 있습니다. 제품의 인상적인 다기능성을 기반으로 스페이서의 높이는 0.2~3.3mm 사이인 반면 댐 폭은 0.5mm까지 사용 가능합니다.

뛰어난 신뢰성

FLEXINITY®의 탁월한 내벽 품질과 신중하게 선택한 접합 솔루션, 최적의 캡 다이싱 파라미터 설정이 결합된 SCHOTT® 캐비티 캡은 클로저 공정 및 응용 분야에서 높은 기계적 강도를 제공하고 비결합 입자 형성을 줄입니다.

기술 상세 정보

결합

SCHOTT® 캐비티 캡 소재

SCHOTT의 기술 세부 정보

재료	D 263® 제품군	MEMpax®	AF 32® eco	BOROFLOAT® 33
CTE(ppm/K)	7.2	3.3	3.2	3.3

기술 데이터 - 창
0.3mm에서 광투과율 τvD65	~ 91.7%
두께(h1)	0.1 ~ 1.1mm
AR 코팅(단면/양면)	요청 시

기술 데이터 - 스페이서
스페이서 높이(h2)	0.2 ~ 3.3mm
개구 크기(a, b)	가변; 최소 0.3mm
개구 공차	< 20μm(± 10μm 상당)
댐 폭(d1, d2)	0.5mm까지 축소

기술 데이터 - 캡
캡 크기(L, W)	가변; 최소 3 x 3mm
캡 크기 공차	± 100μm
캡 높이(h1+h2)	최소 0.3mm
치핑(내부 가장자리)	< 10μm
치핑(다이싱된 외부 가장자리)	< 100μm

SCHOTT® 캐비티 캡 그래픽 치수

결합

웨이퍼 수준의 밀폐형 레이저 결합: 높은 밀폐 수준
최소 열부하: 몇 마이크로미터 내의 열 영향 영역.
무첨가: 접착제 또는 추가 소재가 필요하지 않습니다.