ガラスキャリア
ガラスキャリアウエハーとは何ですか？
ガラスキャリアウエハーは、ホウケイ酸塩やアルミノホウケイ酸塩などの薄いガラス材料で作られた精密に製造されたディスクです。これらの材料は、優れた熱膨張特性と透過率のために選択されています。先進技術を使用して製造されたウエハーは、厳格な品質基準を満たし、業界固有の要件に合わせてカスタマイズされています。
ガラスが半導体に理想的な理由
半導体製造では、キャリアウエハーとパネルが重要な役割を果たします。他の材料に比べてガラスの利点には、優れた熱安定性があり、変形することなく加工中に高温に耐えることができます。ガラスキャリアの安定性は、機械的ストレスを最小限に抑え、重要な製造工程中にウエハーの完全性を維持します。また、利用可能なガラスの多様な熱膨張率により、さまざまな半導体材料に最適に適合することができ、加工を簡素化します。さらに、ガラスの高い光透過率は、品質管理に不可欠な正確な光学検査を支援します。これらの特性を組み合わせることで、ガラスは効率的で信頼性の高い半導体製造に不可欠な材料になります。
ガラスキャリアの利点
めまぐるしく変化する半導体の世界において、ガラスキャリアの重要性はますます高まっています。これは、次のような主な特性によるものです。
高品質の未加工ガラス
SCHOTT の融解プロセスの高い再現性により、高品質で一貫した原材料ガラスが保証されます。
幅広い CTE 範囲
これにより、半導体処理中に幅広い材料をキャリアウエハーとして配置でき、最適な結果を得るために適合された CTE を利用できます。
機械的堅牢性
キャリアウエハーの優れた処理性能は、破損強度などの分野で並外れた堅牢性をもたらします。
耐薬品性および耐熱性
ガラスは、酸やその他の化学薬品に対する高い耐性に加えて、優れた熱衝撃特性を備えているため、キャリの素材として最適です。
透明度
ガラスキャリアの透明性により、レーザー剥離処理が可能となり、工程内検査が可能となります。また、接着問題が発生した場合の特定も容易となります。
きわめて低い許容誤差
キャリアウエハーは TTV レベルの ≤ 3µm を提供し、優れたシリコンウエハー薄化と ≤ 50µm の反りを可能にし、層積層プロセス中のより高い反りを回避します。
フォームベースツール
ガラスはサイズ制限が少ないため、キャリア基板として理想的です。ウエハーとして生産されるこの製品は、シリコンウエハーと同じ切欠きと面取りの形状オプションを持ち、ガラスの利点も追加されています。
コスト効率と耐久性に優れる
ガラスキャリアのウエハーとパネルは、その優れた特性により、最大 10 回まで使用することができ、これらの重要な部品の持続可能性を高めながら、コストを削減します。
バックエンドプロセスに対応
ガラスキャリアは、半導体製造におけるシリコンウエハー / ダイの取り扱いを可能にします。
SCHOTT ガラスキャリアの幾何学的特性
| 形状特性 | 値 |
|---|---|
|
少ない厚さ偏差 (TTV) |
< 2.0 µm（標準） |
|
精密な板厚公差 |
± 5.0 μm（標準） |
|
反り（材質および板厚による） |
8'' < 30µm（標準） |
|
品質特性（材質と厚さによる） |
傷 / 掘削： |
ガラスキャリアの接着と取り外し
スペクトル透過率: 厚さ 1.1 mm λ = 250 nm ～ 400 nm
スペクトル透過率: 厚さ 1.1 mm、λ = 200 nm 500 nm
SCHOTT のガラスキャリアは、以下の形で納品できます。
- フラット / ノッチ：SEMI 規格に準拠
- レーザーマーキング：SEMI 規格、T7、 QR バーコード / 一意番号に準拠
- 洗浄：超音波 / メガソニック洗浄およびクリーンルーム ISO 6
- 包装：ISO 6 準拠のウエハーボックス（FOSB，RTU など）の検査と包装
