FLEXINITY®
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FLEXINITY®

マイクロスケール構造と完璧な接合をサポートする表面により、 FLEXINITY® は優れた技術標準を提供します。小型化、高性能システムのための重要なコンポーネントであるカスタマイズの可能性は、あらゆる形状を可能にし、新しい技術のためのさまざまな機会を提供します。

強力、正確、高度なカスタマイズ可能

超高繊維構造

FLEXINTY®は、0.1〜3.3mm の幅広い厚さの範囲で利用できます。構造化幅は半径 25 μm まで下がることができますが、横方向のサイズは最大 600 mm まで構造化でき、特定のアプリケーション要件に応じて、位置公差は ± 3 μm まで下がることができます。

卓越した信頼性

FLEXINTY® は、その特定の壁条件により、非常に高い機械的強度と、調整された熱膨張との組み合わせにより、高い信頼性と歩留まりを実現します。

高い表面品質

FLEXINITY®構造化ウエハーのしっかりしたガラスシリコン接合スタックは、高品質の表面によって支えられています。優れた耐火研磨仕上げにより、どのガラスタイプをどの用途に使用しても、高い耐久性が得られます。

ご希望に合わせてカスタマイズ

SCHOTT は、幅広いガラスタイプで FLEXINITY® を提供しています。D 263® は構造化されたシート、パネル、またはウェーハとして提供でき、高い CTE と組み合わせて VIS から NIR の範囲で強い透過率を提供し、AF 32® eco は高い熱安定性と低い誘電損失係数を提供します。
FLEXINTY® 構造特性
FLEXINTY® 接続構造特性
FLEXINTY® ミニ 構造特性
FLEXINTY® レベル構造特性
FLEXINITY®素材

SCHOTT FLEXINTY® - 構造化ガラスソリューション

標準構造化能力*  
板厚範囲(ガラスの種類によって異なります) 0.1〜3.3 mm
フォーマット 直径最大 600 mm (円形、正方形)
レイアウト  お客様の仕様に合わせた構造
構造化半径 最大 25 μm
構造要素最小寸法 100 μm
機能サイズ許容値 < 20 μm (同等 ± 10 μm)
壁のテーパー角 90 ° ± 0.5 °
エッジ除外ゾーン ≥ 3 mm
フィーチャの位置公差 < 20 μm (同等 ± 10 μm)
 構造要素間のブリッジ幅 最大 100 μm

*) 機能設計の制限、およびこれらの機能から逸脱する要求は、要請に応じて評価されます

SCHOTT FLEXINTY®コネクト - 構造化ガラスソリューション

構造  
板厚範囲(ガラスの種類によって異なります) ~ 0.2 ～ 1.1 mm
構造化半径
 50 μmまで
フォーマット 直径最大 600 mm (円形、正方形)
位置公差 最大 ± 3 μm* 
穴の数 1秒間に最大1000穴*
レイアウト  
構造化形態 円形
位置 フレキシブル
穴の形状 直線
種別 スルーホール 
材料範囲**  
SCHOTT D 263™ T eco、BOROFLOAT® 33、SCHOTT® AF 35 G  

*) 設計による
*) 評価対象のその他の材料

SCHOTT FLEXINITY®ミニ - 構造化ガラスソリューション

標準構造化能力*  
板厚範囲(ガラスの種類によって異なります) 0.1〜3.3 mm
フォーマット(フレーム) 最大直径 600 mm
取り外した部品のサイズ 最大1mm
レイアウト(取り外した部品の輪郭の外側) 円形、長方形、自由形状
レイアウト(穴) お客様の仕様に合わせた構造
外形と穴半径 最大 25 μm
構造要素最小寸法 100 μm
機能サイズ許容値 < 20 μm (同等 ± 10 μm)
フィーチャの位置公差 < 20 μm (同等 ± 10 μm)
フレームサイズ ≥ 10 mm 
*) 機能設計の制限、およびこれらの機能から逸脱する要求は、要請に応じて評価されます

SCHOTT FLEXINITY®レベル - 構造化ガラスソリューション

標準構造化能力*  
ガラスの種類 SCHOTT D 263™ T Eco、BOROFLOAT® 33
板厚範囲(ガラスの種類によって異なります) 0.6〜3.3 mm
フォーマット 直径最大 600 mm (円形、正方形)
レイアウト お客様の仕様に従ったノンスルー構造、スルー構造と組み合わせ
が可能 *
構造化半径 最大 25 μm
構造要素最小寸法 100 μm
機能サイズ許容値 < 20 μm (同等 ± 10 μm)
壁のテーパー角 90 ° ± 0.5 °
エッジ除外ゾーン ≥ 3 mm 
フィーチャの位置公差 < 20 μm （同等 ± 10 μm）
構造要素間のブリッジ幅 最大 100 μm
*) 機能設計の制限、およびこれらの機能から逸脱する要求は、要請に応じて評価されます

 

仕様 FLEXINITY® レベル  
レベル深さ範囲、d1 最小0.2 mm
残りのベース厚さ、d0 最小0.4 mm
キャビティレイアウト 円形、長方形、自由形状
フィーチャサイズ許容誤差（横方向） < 20 μm （同等 ± 10 μm） 
フィーチャの位置公差 < 20 μm （同等 ± 10 μm）
レベル深さ許容誤差 < 100 μm （同等 ± 50 μm）
レベル深さサーフェステクスチャ マット

 

SCHOTT-FLEXINITY® レベル - 写真 - 概略スケッチ - ガラスの側面図

FLEXINITY®素材

SCHOTT FLEXINITY®は以下のようにご利用いただけます :

  • SCHOTT D 263™ T eco
  • SCHOTT D 263™ bio
  • AF 32®eco
  • MEMpax®
  • BOROFLOAT®

詳細については、概要ページの関連資料をご覧ください。

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