SCHOTT®キャビティキャップ
SCHOTT®キャビティキャップは、ハイエンドのマイクロスケール構造、最新の接合技術、微調整されたダイシングにより、幅広い技術標準を実現します。小型化システムの重要なコンポーネントであり、あらゆる形状を可能にするカスタマイズ性により、汎用性の高いパッケージングソリューションを提供します。
SCHOTTの技術的詳細
| 材料 | D 263®シリーズ | MEMpax® | AF 32®eco | BOROFLOAT® 33 |
|---|---|---|---|---|
| CTE（ppm/K） | 7.2 | 3.3 | 3.2 | 3.3 |
| 技術データ - ウィンドウ |
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|---|---|
| 0.3 mmでの光透過率τvD65 | ~ 91.7% |
| 厚み（h1） | 0.1〜1.1 mm |
| ARコーティング（片面/両面） | 要求に応じて |
| 技術データ – スペーサー |
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|---|---|
| スペーサーの高さ（h2） |
0.2〜3.3 mm |
| 開口部サイズ（a、b） | 可変、最小0.3 mm |
| 開口部公差 | < 20 μm （同等 ± 10 μm） |
| ダム幅（d1、d2） | 0.5 mm 以下 |
| 技術データ – キャップ | |
|---|---|
| キャップサイズ（長さ、幅） | 可変、最小3 x 3 mm |
| キャップサイズ公差 | ± 100 μm |
| キャップ高さ（h1+h2） | 最小0.3 mm |
| チッピング（内縁） | < 10 μm |
| チッピング（ダイシングされた外縁） | < 100 μm |
接合
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ウエハーレベル気密レーザー接合：高い気密性。
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最小熱負荷：わずか数マイクロメートルの溶接熱影響部。
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接着剤不要：接着剤や余分な材料は必要ありません。
SCHOTT®キャビティキャップの材料
SCHOTT®キャビティキャップには以下の製品として提供できます。
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SCHOTT D 263™ T eco
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AF 32®eco
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MEMpax®
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BOROFLOAT®
詳細については、概要ページの関連資料をご覧ください。
