HermeS®
MEMS 장치의 신뢰성과 성능은 MEMS 패키징 기술의 장기적인 견고성에 달려 있습니다. 견고한 소재와 소형화된 설계 옵션으로 HermeS® 밀폐 유리 관통 비아(TGV) 웨이퍼는 의료 업계, 전기통신 부문, 산업 및 자동차 운영에서 핵심적인 역할을 하고 있으며 놀랍도록 다양한 용도로 활용할 수 있습니다.
산업용 및 자동차 MEMS 센서
제조는 MEMS 기반 장치 및 센서에 있어 매우 열악한 환경일 수 있습니다. 예를 들어, 부식성 산업 및 자동차 생산 라인의 압력 센서는 엄격한 제작 절차를 견디고 높은 수준의 효율성으로 작동하기 위해 TGV 웨이퍼 기술의 방어가 필요합니다.
RF MEMS
통신 시스템은 소형화 설계와 인상적인 밀폐 성능 덕분에 우수한 무선 주파수 특성을 제공하기 때문에 SCHOTT HermeS® 밀폐 TGV 웨이퍼의 이점을 얻습니다.
의료용 MEMS
SCHOTT HermeS® 밀폐 TGV 웨이퍼는 견고한 전자 패키징으로 체액으로부터 장비를 보호하기 때문에 혈압 센서 및 신경 자극기와 같은 의료용 MEMS 기기 하우징으로 이상적입니다.
