MEMpax®
MEMpax® 붕규산 유리의 다기능성은 표면을 깨끗하고 매끄럽게 만드는 다운-드로우 생산 공법에서 비롯됩니다. 낮은 편평도, 높은 균질성 및 탁월한 소재 특성 포트폴리오를 결합한 MEMpax®는 전자 및 생명공학등의 다양한 분야로 적용을 넓혀줍니다.
압력 센서
MEMpax®는 압력 센서에 사용하기에 이상적입니다. 비연마된 구조형 웨이퍼로 제공되는 MEMpax®는 기능성 MEMS 다이를 운반하는 기판 역할을 합니다. 이는 SCHOTT이 오랫동안 신뢰할 수 있는 입지를 구축해 온 자동차, 산업, 운송 및 의료 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
MEMS 미러
MEMpax®는 고유한 열적, 광학적, 외형적 및 기하학적 특성으로 인해 다양한 MEMS 미러 응용 분야에서 윈도우로 널리 사용됩니다. 실리콘과의 열적 매칭은 밀폐형 패키지를 가능하게 하는 양극 접합의 가능성을 열어주며, 낮은 두께의 가용성은 더 작은 폼 팩터와 개선된 광학 응용 분야 설계를 제공합니다. 또한 매끄러운 표면은 효과적인 반사 방지 코팅과 결합될 수 있습니다.
RF IC 패키징
SCHOTT MEMpax®는 시중에 나와 있는 모든 얇은 유리 중 유전율이 가장 낮기 때문에, 매우 높은(> 30GHz) 주파수를 사용하는 응용 분야에 이상적입니다. MEMpax® 유리는 표면 조도가 낮고 TTV가 낮기 때문에 무선 주파수 집적 회로에 매우 적합합니다.
진단 및 생명 공학
최적의 감도는 진단 및 생명 공학 분야에서 매우 중요하며, SCHOTT MEMpax®의 높은 광학 투과율 및 낮은 자가형광은 다양한 장치와 장비에서 사용하기에 이상적입니다. MEMpax®는 바이오칩 기판, 마이크로유체 또는 랩온어칩 시스템 등에서 낮은 신호 대 잡음비와 우수한 표면 품질을 제공합니다.
