FOTURAN® II
FOTURAN®が非常に汎用性が高く、信頼性の高い光性構造化ガラスセラミックであることは、30年以上前から科学、工学、技術のトップブランドに知られています。 ショットは FOTURAN® II を開発しました。 FOTURAN® II は、感光性ガラスウェハのより高い基準を提供するために、同じ配合を改善する材料です。
利用可能な製品
SCHOTT FOTURAN® II は次の製品名でお求めいただけます :
- 研磨された基板とウェハ
詳細については、概要ページの関連製品をご覧ください。
構造プロセスと特性
動作原理
FOTURAN® II は光造形可能なガラスセラミックで、 3 つのステップで構成されています。 4 番目のステップとしてのセラミゼーションはオプションです 。
1) 結晶化時の温度プロファイルの違いによる結晶構造の違い
標準的な光造型プロセス
FOTURAN® II の構造は、紫外線照射、熱処理、エッチングで構成されています。その後のセラミック化はオプションです。
1) 0.5mm厚の基板の場合 - 他の厚さの場合はパラメータが異なる場合があります。
2) 最適な理論上の露光波長は312 nmです
未処理 FOTURAN® II の透過曲線
未処理FOTURAN® II の最高の紫外線感度は290～330nmで、透過勾配の変化において可視
